熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準(zhǔn)級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。

熱式氣體質(zhì)量流量計雖然有很多的優(yōu)勢，但也有缺點，比如：只能測量干燥的氣體，如果氣體內(nèi)含有較大水汽，示值將偏大，初步的判斷標(biāo)準(zhǔn)是管道內(nèi)不會形成凝結(jié)水的氣體均可以測量；氣體組分變化頻繁且測量精度要求高的氣體不適合測量；氣體內(nèi)粉塵含量較高且測量精度要求高的氣體不適合測量。

熱式氣體質(zhì)量流量計具有以下特點：

(1)直接測量氣體質(zhì)量流量，精度達到±1.0%F·S；

(2)重復(fù)性達到±0.2%F·S；

(3)量程比達到100∶1；

(4)熱式氣體質(zhì)量流量計壓損極小，150mm內(nèi)徑以上壓損可以忽略；

(5)一個過程連接，標(biāo)定時已做好溫壓補償，無須額外的溫度、壓力變送器及對應(yīng)的補償；

(6)插入式安裝，雙卡套鎖緊連接方式，內(nèi)部無可動部件，基本免維護；

(7)管道震動對儀表性能影響非常小；

(8)可帶球閥安裝，省去旁路管道及相應(yīng)的閥門；

(9)前后直管段要求低，管道式只需1D前直管段；

(10)自帶免費儀表通訊軟件，方便對儀表微調(diào)；